Zuschlag 1375455: Vollautomatische, lineare, Elektronenstrahlbedampfungsanlage
Publiziert am: 7. November 2023
Paul-Scherrer-Institut (PSI)
Entscheid nach Art. 21 Abs. 2 Bst. c BöB
Den Zuschlag erhält die Firma Angstrom Engineering Inc., da wir für die Skalierung der Herstellung unserer Proben auf 200mm Substraten, im Einklang mit der Strategie für den neuen PSI Reinraum Park InnovAARE (PiA), eine Elektronenverdampfungsanlage mit minimaler Variation der aufgedampften Schichtdicke (≤ ±4.0 % über das gesamte 200mm Substrat bei 30 Grad Neigung im Verhältnis zum Aufdampfstrahl ohne Rotation des Substrats), vollautomatischen Substratlader mit mindestens 10 Kassetten, in-situ Materialzuführung zu den Tiegeln ohne Öffnung der Vakuumkammer und robuster, benutzerfreundlicher Handhabung benötigen (vollautomatischer Operation). Das System muss mit den räumlichen Anforderungen des PiA Reinraums vereinbar sein (lineares Layout <7m Länge, in die Trennwand zwischen Reinraum und Grauraum integrierbar). Aufgrund der zeitlichen Befristung der gesprochenen Förderung und des bereits erfolgten Starts der zugehörigen Forschungsprojekte ist eine minimale Vorlaufzeit eine entscheidende Voraussetzung. Bei mehreren Lieferanten auf dem internationalen Markt erfüllt nur das Produkt Quantum Series Inline Cluster Nebula, das von Angstrom Engineering Inc. vertrieben wird, die technischen Mindestanforderungen.
| Auftraggeber: |
Dezentrale Bundesverwaltung / öffentlich rechtliche Organisationen
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| Kategorie: | Zuschlag |
| Sprache: | de |
| Tags: |
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| Gruppen: |
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| Untergruppen: |
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| Vergabe: | freihändig |
| Andere Sprachen: |
Zuschlagskriterien
| Gewichtung | Kriterium |
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Berücksichtigte Anbieter
Weitere Informationen
03.11.2023
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Gegen diese Verfügung kann gemäss Art. 56 Abs. 1 des Bundesgesetzes über das öffentliche Beschaffungswesen (BöB) innert 20 Tagen seit Eröffnung schriftlich Beschwerde beim Bundesverwaltungsgericht, Postfach, 9023 St. Gallen, erhoben werden. Die Beschwerde ist im Doppel einzureichen und hat die Begehren, deren Begründung mit Angabe der Beweismittel sowie die Unterschrift der beschwerdeführenden Person oder ihrer Vertretung zu enthalten. Eine Kopie der vorliegenden Verfügung und vorhandene Beweismittel sind beizulegen.
Die Bestimmungen des Verwaltungsverfahrensgesetzes (VwVG) über den Fristenstillstand finden gemäss Art. 56 Abs. 2 BöB keine Anwendung.
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