Berichtigung 1346787: 100 kV high-resolution e-beam lithography system (EBL)
Publiziert am: 27. Juni 2023
Paul-Scherrer-Institut (PSI)
100 kV high resolution electron-beam lithography system with a Gaussian beam for the new cleanroom of the Photon Science division of Paul Scherrer Institute (PSI).
Details see in specification PSI-HK67-001 Rev. 2.00
| Auftraggeber: |
Dezentrale Bundesverwaltung / öffentlich rechtliche Organisationen
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| Kategorie: | Berichtigung |
| Sprache: | en |
| Tags: |
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| Gruppen: |
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| Untergruppen: |
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OVGA-217
5232 Villigen
Telefon: +41 (0)56 310 2915
E-Mail-Adresse:
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