Ausschreibung 1009593: Chemical Vapor Deposition Anlage
Publiziert am: 3. März 2018
Universität Basel
Das ausgeschriebene System besteht aus einem Chemical Vapour Deposition (CVD) -System, welches das Wachstum von Germanium / Silizium-Heterostrukturen ermöglicht. Insbesondere muss das System das Wachs-tum von Heterostruktur-Nanodrähte auf Germanium- und Siliziumbasis ermöglichen. Dies erfordert Operations-temperaturen zwischen mindestens 50 und 600°C. Auch muss die Temperatur während des Wachstumsprozesses vollständig kontrollierbar sein. Weiter wird während dem Wachstumsprozess die vollständige Kontrolle über den Druck in der Wachstumskammer, in einem Bereich zwischen 0.1 und 300 Torr, benötigt. Zugang für 6 ver-schiedene Gasquellen, welche individuell durch Mass Flow Controller (MFCs) gesteuert werden, sollte gewähr-leistet sein. Eine Systemsteuerungssoftware sollte Echtzeit-Prozesssteuerung, Datenprotokollierung und Rezept-bearbeitung ermöglichen. Das System muss über Software- und Hardware-Sicherheitsverriegelungen verfügen.
| Auftraggeber: |
Träger kantonaler Aufgaben
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| Kategorie: | Ausschreibung |
| Sprache: | de |
| Abgabetermin: | abgelaufen |
| Ort: | |
| Zeit für Fragen: | abgelaufen |
| Tags: |
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| Gruppen: |
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| Untergruppen: |
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Zeitplan
Folgender Zeitplan wurde aus den simap-Publikationsdaten erstellt:
| Datum | Ereignis | Kommentar |
|---|---|---|
| 3. März 2018 | Publikationsdatum | |
| 5. März 2018 | Ausschreibungsunterlagen verfügbar ab | None |
| 16. April 2018 | Ende Bestellung Ausschreibungsunterlagen | |
| 19. März 2018 | Frist für Fragen | None |
| 16. April 2018 | Abgabetermin 15:00 | Siehe Ausschreibungsunterlagen. |
| 17. April 2018 | Offertöffnung | Siehe Ausschreibungsunterlagen. |
| None | Geplanter Projektstart | |
| None | Geplantes Projektende |
Zuschlagskriterien
| Gewichtung | Kriterium |
|---|---|
| 70 | Technische Anforderungen |
| 30 | Angebotspreis |
Zulassungsbedingungen
siehe Unterlagen
siehe Unterlagen
Zusätzliche Informationen
Kantonsblatt Basel-Stadt 18/2018
www.kantonsblatt.ch
Gegen diese Ausschreibung kann innert 10 Tagen, von der Veröffentlichung im Kantonsblatt Basel-Stadt an gerechnet, beim Verwaltungsgericht Basel-Stadt, Bäumleingasse 1, 4051 Basel, schriftlich Rekurs eingereicht werden. Die Rekursschrift muss einen Antrag und dessen Begründung enthalten. Die angefochtene Verfügung ist beizulegen. Die angerufenen Beweismittel sind genau zu bezeichnen und soweit möglich beizulegen.
Petersplatz 1
4051 Basel
Telefon: 061 207 26 47
E-Mail-Adresse:
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